石英晶體諧振器的結構及生產工藝流程

石英晶體諧振器結構

石英晶體諧振器有石英晶片、電極、基座、上蓋、導電膠組成，其中石英晶片為關鍵部分。電極覆蓋在石英晶片的上下表面，基底及上蓋形成器件的內部腔體，導電膠起到固定石英晶片以及導電作用。常見的石英晶體諧振器內部形貌見下圖。

石英晶體諧振器生產工藝流程

1、晶片切割：石英晶振中Z重要的材料是石英晶片，在石英晶片的制作工藝中首先要對石英晶棒原材料進行切割研磨處理，有一道很重要的工序就是定角，由于晶片的取向不同，其壓電特性、強度特性、彈性特性均有所不同，用它來制作的石英晶振的性能也就不一樣。

2、晶片清洗：使用超聲機對晶片進行清洗，目的是去除晶片表面雜物，為下一步的鍍膜做準備。

3、鍍膜：在潔凈的晶片表面上蒸鍍薄銀層，形成電極。在蒸鍍前，須將石英晶體放入到模具中，此模具將需蒸鍍的區域暴露出來，遮擋無需蒸鍍的區域。

4、點膠：將鍍上電極的晶片裝在基座上，點上導電膠，并高溫固化。

5、微調：采用離子轟擊的方式調整晶片表面電極的厚度，使諧振器的振蕩頻率符合要求。

6、封焊：將基座和上蓋在充滿氮氣的環境中進行封焊。

7、密封性檢查：檢查封焊后的產品密封性能是否符合要求。

粗檢漏：檢查較大的漏氣現象（壓差方式）；

細檢漏：檢查較小的漏氣現象（壓He方式）。

8、老化及模擬回流焊：對產品加以高溫長時間老化，釋放應力；以及模擬焊接環境，暴露制造缺陷，以提高出貨產品的可靠性。

9、打標：在晶振外殼打上logo，如型號、額定頻率等。

10、測試包裝：對成品進行電性能指標測試，確保產品質量。